平面拋光研磨機械設備的工作原理有哪些
作者:
數控雙面研磨機
【
原创
】
2025-05-06
平面拋光研磨機械設備的工作原理,依據設備結構和應用工藝的不同,主要可歸納為以下幾種類型,每種原理適用于不同精度和表面處理要求的平面工件(如金屬、陶瓷、玻璃、晶圓、塑料等):
一、雙面研磨拋光原理
平面拋光研磨機械工作原理:
工件夾持在上下兩個磨盤之間,通過 上下盤反向旋轉 實現均勻磨削或拋光;
工件在行星齒輪系統或游星輪中運行,實現自轉+公轉,提高平整度和效率;
通常配合使用研磨液或拋光液(含磨粒)。
平面拋光研磨機械特點:
精度高(可達μm級甚至nm級);
適用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃等高精度要求工件;
適合高平面度 + 高平行度控制。
二、單面拋光/研磨原理
工作原理:
工件放置于一個旋轉工作盤上,頂部有拋光頭/壓塊施壓;
利用拋光墊或研磨盤,加壓+旋轉對工件進行單面處理;
拋光液/研磨液持續注入。
平面拋光研磨機械特點:
操作簡單,適合大尺寸或單面要求高的工件;
適用于平板玻璃、鏡片、壓電陶瓷等;
拋光效果受工件重心和分布影響較大。
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